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摘要:本文件规定了扫描电子显微术中常用的术语和定义。本文件适用于从事扫描电子显微术及相关领域的研究、开发、应用和教学人员。
Title:Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Terminology
中国标准分类号:J72
国际标准分类号:35.040
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拓展解读
什么是GBT 23414-2009标准?
GBT 23414-2009是中国国家标准化管理委员会发布的关于微束分析中扫描电子显微术(SEM)的术语标准。该标准定义了与扫描电子显微术相关的专业术语,为科研、工业及教育领域提供了统一的语言规范。
GBT 23414-2009的主要用途是什么?
该标准的主要用途是提供一个权威的术语库,用于指导扫描电子显微术的研究、开发、应用和教学。通过统一术语,可以减少因术语不一致而导致的误解或混淆。
扫描电子显微术的基本原理是什么?
扫描电子显微术利用电子束对样品表面进行逐点扫描,通过检测反射或发射的二次电子、背散射电子等信号来成像。其特点是具有高分辨率和深度感知能力,广泛应用于材料科学、生物学等领域。
什么是二次电子?
二次电子是指当入射电子束轰击样品表面时,部分能量被传递给样品原子的外层电子,导致这些电子逸出表面的现象。二次电子信号主要用于表征样品表面形貌。
什么是背散射电子?
背散射电子是指入射电子束与样品相互作用后,沿原路返回的部分电子。背散射电子信号通常用于分析样品的成分分布,因为不同元素产生的背散射电子强度不同。
GBT 23414-2009中提到的“分辨率”具体指什么?
分辨率是指扫描电子显微镜能够区分两个相邻物体的能力。在GBT 23414-2009中,分辨率分为两种:空间分辨率(反映图像细节清晰度)和能量分辨率(反映能谱分析精度)。高分辨率意味着更清晰的图像或更精确的能量分析。
为什么需要使用扫描电子显微镜?
GBT 23414-2009是否适用于所有类型的扫描电子显微镜?
GBT 23414-2009主要适用于通用型扫描电子显微镜。对于特殊类型的扫描电子显微镜(如低温SEM或环境SEM),可能需要参考其他相关标准。
如何选择合适的扫描电子显微镜?
GBT 23414-2009是否更新过?
截至目前,GBT 23414-2009尚未有更新版本发布。如果未来有新的技术发展或术语变化,可能会推出修订版。