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    GBT 21636-2008 微束分析.电子探针显微分析(EPMA)术语
    微束分析电子探针显微分析EPMA术语材料分析
    24 浏览2025-06-09 更新pdf1.37MB 未评分
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    摘要:本文件规定了电子探针显微分析(EPMA)相关的术语和定义。本文件适用于利用电子探针显微分析技术进行材料成分分析的研究和应用领域。
    Title:Microbeam Analysis - Terms for Electron Probe Microanalysis (EPMA)
    中国标准分类号:J80
    国际标准分类号:25.040.01

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    GBT 21636-2008 微束分析.电子探针显微分析(EPMA)术语
  • 拓展解读

    GBT 21636-2008 微束分析:电子探针显微分析(EPMA)术语

    GBT 21636-2008 是中国国家标准中关于微束分析的重要文件,其中详细定义了电子探针显微分析(Electron Probe Microanalysis, EPMA)领域的专业术语。这项技术通过利用高能电子束与样品相互作用,能够精确测量材料的元素组成和分布情况,广泛应用于地质、冶金、半导体制造等领域。

    EPMA 的基本原理与应用

    EPMA 的核心在于利用电子束激发样品表面产生特征X射线信号。这些信号的强度与样品中特定元素的浓度直接相关,从而实现对材料成分的定量分析。这一技术的优势在于其高空间分辨率和高灵敏度,能够在微米甚至亚微米尺度上进行精准分析。

    • 高精度分析: EPMA 可以检测从轻元素到重元素的广泛范围,其检测限通常达到ppm级别。
    • 非破坏性检测: 在许多情况下,EPMA 分析不会对样品造成明显损伤,适合用于珍贵样品的分析。

    术语详解

    GBT 21636-2008 中对 EPMA 技术中的关键术语进行了规范,例如“背散射电子”、“特征X射线”等。这些术语不仅帮助研究人员更好地理解技术细节,还为国际间的学术交流提供了统一的语言基础。

    • 背散射电子: 当电子束撞击样品时,部分电子会以接近入射方向的角度反弹,称为背散射电子。这种信号可用于表征样品的形貌和成分分布。
    • 特征X射线: 样品中的原子被激发后释放出的特征X射线,其波长与元素种类一一对应,是 EPMA 分析的核心依据。

    实际案例与数据分析

    以地质学研究为例,EPMA 被广泛用于矿物成分分析。例如,在一项关于矿石的研究中,科学家利用 EPMA 测定了某矿石中不同矿物相的微量元素含量。通过分析发现,该矿石中的某些稀有金属元素分布极不均匀,这为后续的选矿工艺优化提供了重要参考。

    此外,EPMA 还在半导体工业中发挥了重要作用。例如,某公司通过 EPMA 检测芯片内部的掺杂分布,发现了一处微小的杂质聚集区域,避免了潜在的产品质量问题。

    综上所述,GBT 21636-2008 提供了 EPMA 技术的专业术语框架,使这一领域的发展更加规范化和标准化。随着技术的进步,EPMA 将继续在科学研究和工业生产中发挥不可替代的作用。

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