资源简介
摘要:本文件规定了硅多晶断面夹层的化学腐蚀检验方法,包括试样制备、腐蚀处理及结果评定。本文件适用于硅多晶材料的质量检测和分析。
Title:Chemical Corrosion Inspection Method for Polysilicon Interlayer Cross-section
中国标准分类号:H23
国际标准分类号:29.050
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拓展解读
在执行“GB 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法”时,可以通过优化流程和资源利用来降低成本,同时确保检测结果的准确性和可靠性。以下是10项可行的弹性方案: