SJT 31096-1994 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法

主要内容

SJT 31096-1994《精密硅片磨床完好要求和检查评定方法》规定了精密硅片磨床的完好标准以及检查和评定的方法。该标准适用于评估精密硅片磨床的技术状态，确保设备能够正常运行并满足加工精度的要求。

• 设备完好要求：
• 机械部分：包括机床结构、传动系统、润滑系统等的完好程度。
• 电气部分：对电气控制系统、安全保护装置等提出具体要求。
• 加工精度：确保磨床在工作状态下能够达到规定的加工精度。
• 检查评定方法：
• 通过目测、仪器检测等方式对设备进行检查。
• 根据检查结果对照标准进行评定，分为合格、基本合格和不合格三个等级。

与老版本的变化

与老版本相比，SJT 31096-1994在以下几个方面进行了改进和更新：

• 技术要求更加严格： 新版标准提高了对设备加工精度和可靠性的要求，以适应更高精度的加工需求。
• 新增检查项目： 增加了一些新的检查项目，例如对环保性能和能耗指标的评估。
• 评定方法更科学： 对评定方法进行了优化，增加了定量分析的内容，使评定结果更具客观性和准确性。
• 适用范围扩展： 老版本主要针对特定型号的磨床，而新版标准扩大了适用范围，涵盖了更多类型的精密硅片磨床。