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资源简介
摘要：本文件规定了枪磁控溅射台的完好要求及检查评定方法，包括设备性能、运行状态、关键部件检测等内容。本文件适用于枪磁控溅射台的维护、检修和验收工作。
Title：Requirements and Inspection Evaluation Methods for the Integrity of Gun Magnetron Sputtering Stands
中国标准分类号：M43
国际标准分类号：25.160 -
封面预览
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拓展解读
主要内容
SJT 31067-1994《S枪磁控溅射台完好要求和检查评定方法》规定了S枪磁控溅射台的技术要求、检查项目以及评定方法。该标准适用于评估磁控溅射台的完好状态，确保其在使用中的可靠性和安全性。
变化对比
与老版本相比，SJT 31067-1994在以下几个方面进行了更新和改进：
- 技术要求更加严格：新版本对磁控溅射台的工作精度、表面光洁度等提出了更高的要求。
- 检查项目的细化：
- 增加了对设备绝缘性能的检测要求。
- 明确了对关键部件（如磁控溅射头）的检查频率和方法。
- 评定方法的优化：新版本引入了更科学的评分体系，便于操作人员快速判断设备是否符合完好标准。
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