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    SJT 11183-1998 匀胶设备通用规范
    匀胶设备半导体光刻涂覆通用规范
    18 浏览2025-06-09 更新pdf0.22MB 未评分
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    摘要:本文件规定了匀胶设备的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体器件、集成电路制造中使用的匀胶设备。
    Title:General Specifications for Spin Coater
    中国标准分类号:M43
    国际标准分类号:25.160

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    SJT 11183-1998 匀胶设备通用规范
  • 拓展解读

    关于SJT 11183-1998 匀胶设备通用规范的常见问题解答

    以下是关于SJT 11183-1998匀胶设备通用规范的一些常见问题及其详细解答。

    1. SJT 11183-1998是什么?

    SJT 11183-1998是中国国家标准化管理委员会发布的关于匀胶设备的通用规范标准,主要用于指导匀胶设备的设计、制造、检验和验收。

    2. 匀胶设备的主要用途是什么?

    匀胶设备主要用于半导体制造、光学器件加工等领域,通过将液体材料均匀涂布在基板表面,以满足特定工艺需求。

    3. SJT 11183-1998的核心要求有哪些?

    • 设备的结构设计应保证操作安全性和稳定性。
    • 匀胶过程应具备精确的控制能力,包括转速、时间、温度等参数。
    • 设备需符合环保要求,减少对环境的影响。
    • 设备应具有良好的可维护性与可靠性。

    4. 如何判断匀胶设备是否符合SJT 11183-1998标准?

    需要对设备进行严格的测试和验证,包括但不限于:外观检查、功能测试(如转速精度、涂层均匀性)、安全性评估(如电气绝缘性能)以及环境适应性测试(如温湿度变化下的运行稳定性)。

    5. 匀胶设备的转速精度对涂布效果有何影响?

    转速精度直接影响涂层的均匀性。根据SJT 11183-1998的要求,匀胶设备的转速误差应小于±1%,以确保涂层厚度的一致性。

    6. 匀胶设备的温度控制范围是多少?

    SJT 11183-1998规定,匀胶设备的工作温度范围通常为室温至100℃,具体要求取决于实际应用场合。

    7. 匀胶设备是否需要定期校准?

    是的。为了确保设备始终处于最佳工作状态,建议每半年或根据实际使用频率进行一次全面校准,包括转速、温度和时间参数。

    8. 匀胶设备的操作人员需要接受哪些培训?

    • 熟悉设备的基本结构和工作原理。
    • 掌握设备的操作规程和安全注意事项。
    • 了解设备的日常维护方法。

    9. 匀胶设备的使用寿命有多长?

    设备的使用寿命受使用频率、维护情况和环境条件的影响。一般情况下,正常使用条件下可达5年以上。

    10. 如果发现匀胶设备不符合SJT 11183-1998标准怎么办?

    首先应停止设备运行并进行全面检查。若发现故障或缺陷,应及时联系专业维修人员进行修复或更换部件,直至设备达到标准要求。

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