GBT 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

GBT 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

GBT 15615-1995 是中国国家标准中关于硅片抗弯强度测试方法的规范性文件。以下是该标准的主要内容及其与老版本的变化。

主要内容

• 测试原理: 使用三点弯曲法对硅片进行加载，测量其在断裂前的最大载荷，进而计算抗弯强度。
• 试样要求: 规定了硅片的尺寸、表面状态和预处理要求。
• 设备要求: 对试验机、支撑辊和加载压头的精度和材料提出了具体要求。
• 测试步骤: 描述了加载速率、施加载荷的具体操作流程。
• 结果计算: 提供了抗弯强度的计算公式及数据处理方法。

与老版本的变化

• 测试设备精度提升: 新版标准对试验机的精度要求更高，确保测试结果更加准确。
• 试样尺寸范围扩展: 老版本仅适用于特定尺寸的硅片，新版增加了对更大尺寸试样的适用性。
• 加载速率优化: 调整了加载速率以适应不同厚度硅片的测试需求。
• 数据处理改进: 增加了对异常数据的剔除方法，提高了结果的可靠性。
• 环境条件明确化: 新版标准明确了测试时的温度和湿度要求，确保测试环境的一致性。