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资源简介
摘要：本文件规定了用红外吸收法测量硅晶体中间隙氧含量的方法，包括样品制备、测试设备要求、测量步骤和结果计算。本文件适用于直拉法生长的硅单晶中间隙氧含量的测定。
Title：Measurement method of interstitial oxygen content in silicon crystal by infrared absorption
中国标准分类号：H81
国际标准分类号：25.160.30 -
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拓展解读
GBT 1557-2018 主要内容
GBT 1557-2018 是关于硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法的标准。该标准详细规定了如何通过红外吸收技术来准确测定硅晶体中氧的含量。标准涵盖了仪器设备的要求、样品制备、测试步骤以及结果计算等内容。
与老版本的变化
- 仪器精度提升: 新版本对仪器的精度要求更高，确保测量数据更加准确可靠。
- 样品制备规范: 对样品制备过程进行了更详细的说明，增加了对样品表面处理的要求，以减少外界因素对测试结果的影响。
- 测试环境控制: 强调了测试环境的控制，包括温度和湿度的要求，以保证测试条件的一致性。
- 数据分析方法改进: 提供了更先进的数据分析方法，提高了数据处理的效率和准确性。
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