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摘要:本文件规定了电子工业用气体磷化氢的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中作为掺杂源的高纯磷化氢气体。 Title:Electronic Industry Gas - Phosphine 中国标准分类号:H23 国际标准分类号:71.040.30
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该标准规定了用于电子工业的磷化氢气体的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等内容。
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