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    GBT 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢
    磷化氢电子工业用气体纯度分析方法质量控制
    13 浏览2025-06-09 更新pdf0.94MB 未评分
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    摘要:本文件规定了电子工业用气体磷化氢的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中作为掺杂源的高纯磷化氢气体。
    Title:Electronic Industry Gas - Phosphine
    中国标准分类号:H23
    国际标准分类号:71.040.30

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    GBT 14851-1993 电子工业用气体  磷化氢
  • 拓展解读

    GBT 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢

    该标准规定了用于电子工业的磷化氢气体的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等内容。

    主要内容

    • 技术要求:包括纯度、杂质含量(如水分、氧气、二氧化碳等)的具体指标。
    • 试验方法:详细描述了如何检测磷化氢气体的各项指标,确保符合标准。
    • 检验规则:规定了产品的检验流程,包括出厂检验和型式检验的要求。
    • 标志、包装、运输和储存:明确了产品在这些环节中的具体要求,以保证产品质量。

    对比与老版本的变化

    • 技术指标更新:新版本对磷化氢气体的纯度和杂质含量提出了更高的要求。
    • 试验方法改进:引入了更先进的检测技术和方法,提高了检测的准确性和可靠性。
    • 环保要求加强:增加了对环境影响的考量,强调了绿色生产的要求。
    • 安全性提升:在运输和储存方面增加了更多的安全措施,防止泄漏和污染。
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