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摘要:本文件规定了蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以蓝宝石单晶为材料,经加工制成的抛光衬底片,主要用于半导体器件和其他电子元器件的制造。
Title:GB/T 13843-1992 Sapphire Single Crystal Polished Substrate Wafers
中国标准分类号:H65
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
该标准规定了蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容。