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资源简介
摘要：本文件规定了电子级过硫酸盐的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中使用的电子级过硫酸盐。
Title：Electronic Grade Persulfate Salts
中国标准分类号：G51
国际标准分类号：71.060 -
封面预览
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拓展解读
TCISA 008-2024《电子级过硫酸盐》标准中，相较于旧版，关于杂质控制的部分进行了显著调整。其中，金属离子含量的限值从原来的10ppb提升到了5ppb。这一变化对电子级过硫酸盐的应用具有深远影响。
以金属离子含量为例，过硫酸盐在半导体制造过程中被广泛用于清洗和蚀刻工艺。金属离子的存在会污染晶圆表面，导致电路短路等问题。因此，降低金属离子含量是提高产品良率的关键。
应用时，生产厂商需采用更先进的过滤技术和纯化工艺来确保符合新的标准要求。例如，可以使用超滤膜分离技术去除大分子杂质，并结合离子交换树脂进一步降低金属离子浓度。此外，在储存和运输环节也应采取严格措施，避免二次污染。
通过这样的改进，能够更好地满足高端电子器件对于材料纯净度日益增长的需求，推动整个行业的技术进步。
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