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摘要:本文件规定了硅片包装的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于硅片的包装,确保其在运输和存储过程中的安全性和完整性。 Title:Silicon Wafer Packaging 中国标准分类号:H23 国际标准分类号:25.160
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拓展解读
YST 28-1992 是关于硅片包装的标准规范,旨在确保硅片在运输和存储过程中的安全性和完整性。
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