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    YBT 4588-2017 单晶炉用板状结构炭炭复合材料
    单晶炉炭炭复合材料板状结构热场材料半导体
    14 浏览2025-06-10 更新pdf2.46MB 未评分
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    摘要:本文件规定了单晶炉用板状结构炭炭复合材料的术语和定义、分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于单晶炉热场中使用的板状结构炭炭复合材料。
    Title:Specification for plate structured carbon/carbon composites used in single crystal furnace
    中国标准分类号:H65
    国际标准分类号:71.100.99

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    YBT 4588-2017 单晶炉用板状结构炭炭复合材料
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    摘要

    本文基于国家标准 YBT 4588-2017,探讨了单晶炉中使用的板状结构炭炭复合材料的性能特点、制备工艺及其在半导体工业中的应用价值。通过分析该材料的独特优势与技术难点,本文旨在为相关领域的研究者提供参考。

    引言

    随着半导体行业的快速发展,对高性能材料的需求日益增加。炭炭复合材料因其优异的热稳定性和机械强度,在单晶炉制造领域得到了广泛应用。特别是按照 YBT 4588-2017 标准生产的板状结构炭炭复合材料,已成为现代工业不可或缺的关键材料之一。

    炭炭复合材料概述

    炭炭复合材料是一种由碳纤维和基体碳组成的多相材料,具有轻质、耐高温、抗腐蚀等特性。根据 YBT 4588-2017 的规定,这类材料需满足特定的技术指标,包括密度、导热率、抗弯强度等。

    制备工艺

    炭炭复合材料的制备过程复杂且精密,主要包括以下几个步骤:

    • 原材料选择:选用高纯度碳纤维作为增强体。
    • 预制体成型:通过编织或铺层的方式形成所需的板状结构。
    • 浸渍与碳化:将预制体置于液态碳源中进行多次浸渍,并在高温下完成碳化反应。
    • 石墨化处理:进一步提高材料的导电性和热稳定性。

    性能特点

    根据 YBT 4588-2017 的要求,炭炭复合材料表现出以下显著特点:

    • 高导热性:适合用于单晶炉内部的热场组件。
    • 低膨胀系数:能够适应极端温度变化环境。
    • 长使用寿命:在恶劣工况下仍能保持良好的机械性能。

    应用前景

    炭炭复合材料在半导体行业中的应用前景广阔。其优异的性能使其成为制造太阳能光伏单晶硅、LED蓝宝石衬底等高端产品的理想选择。此外,随着新能源汽车和航空航天等领域的发展,炭炭复合材料的需求量将进一步增长。

    结论

    综上所述,炭炭复合材料作为一种高性能工程材料,符合 YBT 4588-2017 标准的要求,并展现出卓越的应用潜力。未来的研究应着重于优化制备工艺、提升材料性能以及降低成本等方面,以更好地服务于新兴产业发展。

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