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摘要:本文件规定了电子级碳酰氟的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以氟化氢和一氧化碳为原料制得的电子级碳酰氟,主要用于半导体制造及微电子工业等领域。
Title:Electronic Grade Carbonyl Fluoride
中国标准分类号:Y41
国际标准分类号:71.060.99
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拓展解读
电子级碳酰氟是半导体制造中不可或缺的高纯度化学品之一。在TCCGA 30005-2021标准发布后,其对行业的影响备受关注。本文将聚焦于该标准中关于“包装与储存”条款的变化,为从业者提供实际操作指导。
相较于旧版标准,新版增加了对包装材料的具体要求,并明确了储存环境参数。例如,明确规定了容器内壁应采用惰性涂层以防止化学反应,同时要求储存温度不得超过15℃且相对湿度控制在20%以下。这些改动旨在减少因外界因素导致的产品质量下降风险。
为了确保符合上述规定,在实际生产过程中需要采取以下措施:首先选择经过认证的专业供应商提供的专用容器;其次建立严格的入库检查流程,包括外观检测和重量复核等步骤;最后定期监测仓库温湿度状况并记录数据以便追溯。通过严格执行这些规范,可以有效提升产品稳定性及使用安全性,满足高端制造业的需求。