资源简介
摘要:本文件规定了半导体材料发射光谱分析的基本原则、仪器设备要求、样品制备方法及数据分析处理规则。本文件适用于半导体材料的成分分析和质量控制。
Title:General Rules for Emission Spectroscopy Analysis of Semiconductor Materials
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵循“SJZ 3206.13-1989 半导体材料发射光谱分析方法通则”的核心原则下,通过灵活调整和优化流程,可以有效降低成本并提升效率。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。