SJT 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

常见问题解答（FAQ）

以下是关于\"SJT 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法\"的主题常见问题解答。

1. SJT 31273-1994标准适用于哪些设备？

回答： SJT 31273-1994标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，该标准规定了设备在运行、维护和检查时的完好要求及评定方法。此标准主要针对工业生产中使用的磁控溅射设备。

2. 磁控溅射机的完好要求包括哪些方面？

回答： 磁控溅射机的完好要求主要包括以下几个方面：

• 机械结构完整无损，所有零部件安装牢固。
• 电气系统正常工作，各电路连接可靠。
• 真空系统密封良好，真空度达到技术指标。
• 冷却系统运行正常，无泄漏现象。
• 控制面板功能齐全，显示准确。

3. 如何检查磁控溅射机的真空度是否达标？

回答： 检查真空度的方法如下：

• 关闭设备并启动真空泵。
• 使用真空计测量腔体内的真空度。
• 如果真空度低于标准值，则需检查真空泵、密封件和管道是否有泄漏。
• 必要时更换损坏部件并重新测试。

4. 设备出现故障时如何快速定位问题？

回答： 快速定位问题的方法包括：

• 检查设备的运行日志，查看最近的操作记录。
• 逐项排查机械、电气和真空系统的状态。
• 利用专业检测工具对关键部件进行测试。
• 参考设备手册中的故障排除指南。

5. 磁控溅射机的定期维护周期是多久？

回答： 根据SJT 31273-1994标准，建议的定期维护周期为每三个月一次。具体维护内容包括清洁设备表面、检查机械部件磨损情况、校准电气参数等。

6. 如何判断磁控溅射机的电气系统是否正常？

回答： 判断电气系统是否正常的步骤如下：

• 检查电源电压是否稳定。
• 测试各电路连接点是否有松动或过热现象。
• 使用万用表检测电路通断情况。
• 运行设备，观察控制面板上的指示灯和仪表读数是否正常。

7. 真空系统泄漏的原因有哪些？

回答： 真空系统泄漏的主要原因包括：

• 密封圈老化或损坏。
• 管道接口未拧紧或存在裂纹。
• 真空泵性能下降。
• 腔体内壁有微小孔洞。

8. 控制面板显示异常时应如何处理？

回答： 处理控制面板显示异常的方法如下：

• 检查电源是否正常供电。
• 重启设备以清除临时性故障。
• 检查连接电缆是否松动。
• 如问题仍未解决，请联系专业技术人员进行维修。

9. 磁控溅射机的冷却系统需要特别注意什么？

回答： 冷却系统需要注意以下几点：

• 定期检查冷却液的液位和质量。
• 确保冷却管道无堵塞或泄漏。
• 定期清洗冷却器以防止积垢影响散热效果。
• 避免长时间超负荷运行导致过热。

10. 如何评定磁控溅射机的整体性能？

回答： 评定磁控溅射机整体性能的方法包括：

• 根据SJT 31273-1994标准中的技术指标逐一检查各项参数。
• 对比设备的实际运行数据与设计要求。
• 邀请第三方机构进行专业评估。
• 记录评定结果并制定改进措施。