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资源简介
摘要：本文件规定了电子背散射衍射(EBSD)分析方法的术语和定义、试样要求、仪器要求、数据分析及结果表示。本文件适用于使用扫描电子显微镜进行材料微观结构分析的电子背散射衍射方法。
Title：Microbeam Analysis - Electron Backscatter Diffraction (EBSD) Method - General Rules
中国标准分类号：J94
国际标准分类号：77.080 -
封面预览
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拓展解读
GBT 19501-2013 主要内容
GBT 19501-2013《微束分析 电子背散射衍射分析方法通则》规定了电子背散射衍射（EBSD）分析的基本原则、实验条件、样品制备、数据采集和处理等要求。该标准适用于利用EBSD技术进行材料微观结构分析。
与老版本的变化
- 实验条件: 新版增加了对高分辨率探测器的要求，并明确了环境真空度的具体数值。
- 样品制备: 强调了样品表面清洁的重要性，并引入了离子减薄的新工艺。
- 数据处理: 增加了对软件校准和数据验证的详细说明，确保结果的准确性。
- 应用范围: 扩展了EBSD技术在纳米材料和复合材料中的应用案例。
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