GBT 17874-2021 电子特气 三氯化硼

GBT 17874-2021 电子特气 三氯化硼 常见问题解答

GBT 17874-2021 是中国国家标准，规定了电子工业中使用的三氯化硼（BCl₃）的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和储存等内容。

优先级 1: GBT 17874-2021 的适用范围是什么？

GBT 17874-2021 主要适用于电子工业中使用的高纯度三氯化硼气体，包括半导体制造、液晶显示、太阳能电池等领域。该标准不适用于工业级或普通用途的三氯化硼。

优先级 2: 三氯化硼在电子工业中的主要用途是什么？

三氯化硼是一种重要的电子特种气体，在半导体制造过程中主要用于刻蚀工艺，特别是在硅片表面进行精确的材料去除。此外，它还用于化学气相沉积（CVD）和掺杂工艺。

优先级 3: GBT 17874-2021 对三氯化硼的纯度有哪些具体要求？

根据 GBT 17874-2021，三氯化硼的纯度需达到 99.999%（即 5N 级别），并且对杂质含量有严格限制，例如氧、水、氮等杂质的含量不得超过规定的限值。

优先级 4: 如何检测三氯化硼的纯度和杂质含量？

GBT 17874-2021 规定了多种检测方法，包括但不限于气相色谱法（GC）、质谱法（MS）和红外光谱法（IR）。这些方法能够准确测定三氯化硼的纯度及其杂质成分。

优先级 5: 三氯化硼的安全性如何？

三氯化硼具有较强的腐蚀性和毒性，操作时需要特别注意防护措施。它会与水反应生成氯化氢气体，因此储存和运输时需避免接触水分。强酸、强碱也可能与其发生反应。

优先级 6: GBT 17874-2021 中对三氯化硼的包装有何要求？

根据标准要求，三氯化硼应储存在专用的高压钢瓶中，并且钢瓶需经过严格的清洗和干燥处理。包装上应标明产品名称、生产日期、批号、净重等信息，同时附有危险品标识。

优先级 7: 运输三氯化硼需要注意哪些事项？

运输过程中需遵守危险化学品的相关法规，避免阳光直射和高温环境。钢瓶应固定牢固，防止碰撞和泄漏。同时，运输车辆需配备必要的应急设备。

优先级 8: 如何正确储存三氯化硼？

三氯化硼应存放在阴凉、通风良好的仓库内，远离火源和热源。仓库内湿度应控制在较低水平，避免与水分接触。同时，应与其他化学品分开存放，防止发生化学反应。

优先级 9: GBT 17874-2021 是否适用于其他类型的电子特种气体？

GBT 17874-2021 仅适用于三氯化硼，其他电子特种气体如氨气（NH₃）、六氟化硫（SF₆）等应参考相应的国家标准或行业标准。

优先级 10: 如何判断三氯化硼是否符合 GBT 17874-2021 标准？

可以通过检测报告验证三氯化硼的各项指标是否满足标准要求。合格的产品应附有由权威机构出具的检测报告，并标注符合 GBT 17874-2021 标准。