GBT 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法

GBT 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法常见问题解答

什么是关键尺寸(CD)？

关键尺寸（Critical Dimension，简称CD）是指在半导体制造过程中，用于描述微细结构特征尺寸的重要参数，例如晶体管栅极宽度、金属线宽等。这些尺寸直接影响器件性能和可靠性。

GBT 17864-1999 是什么标准？

GBT 17864-1999 是中国国家标准，规定了关键尺寸（CD）测量的方法和技术要求，适用于半导体制造中的关键尺寸计量。

为什么需要测量关键尺寸？

• 确保半导体器件的性能符合设计要求。
• 监控生产过程中的工艺稳定性。
• 及时发现并纠正制造过程中的偏差，避免良品率下降。

GBT 17864-1999 中定义的关键尺寸测量方法有哪些？

• 光学显微镜法：通过光学显微镜观察和测量关键尺寸。
• 扫描电子显微镜（SEM）法：利用高分辨率电子束扫描样品表面。
• 原子力显微镜（AFM）法：通过探针与样品表面接触来测量尺寸。

如何选择合适的测量方法？

• 对于粗略评估，可采用光学显微镜法。
• 对于高精度需求，推荐使用扫描电子显微镜（SEM）或原子力显微镜（AFM）。
• 具体选择需结合测量对象的尺寸范围、材料特性和实际需求。

GBT 17864-1999 标准中对测量结果的精度有何要求？

标准要求测量结果的精度应满足以下条件：

• 对于光学显微镜法，精度一般为±0.1μm。
• 对于扫描电子显微镜法，精度可达±0.01μm。
• 对于原子力显微镜法，精度更高，可达±0.001μm。

GBT 17864-1999 是否适用于所有类型的半导体器件？

GBT 17864-1999 主要适用于平面型半导体器件的关键尺寸测量。对于三维结构或新型器件，可能需要结合其他标准或方法进行补充。

在实际操作中，如何校准测量设备以保证测量准确性？

• 定期使用标准样品对设备进行校准。
• 记录每次校准的数据，并与历史数据对比分析。
• 遵循设备制造商提供的校准指南和建议。

GBT 17864-1999 是否已经过时？

虽然 GBT 17864-1999 是较早的标准，但其基本原理和方法仍然具有指导意义。然而，随着技术进步，建议参考更新的标准或国际规范（如 SEMI 标准）以获取更先进的测量技术和方法。