TBEA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范

本文以TBEA 40002-2022与旧版标准的差异为切入点，聚焦于“等离子体密度测量方法”的变化展开深度解析。相较于旧版标准，新版明确了等离子体密度测量应采用双探针法，并要求其不确定度控制在±10%以内。

在实际应用中，双探针法的操作步骤如下：首先将探针置于等离子体区域中心位置，确保探针与射频源阻抗匹配良好；然后设置扫描频率范围为50kHz至100MHz，步长为1kHz；接着记录每个频率点上的电流电压特性曲线，通过拟合曲线计算出电子密度值；最后对多次测量结果取平均值，并评估测量过程中的不确定度来源，包括探针表面污染、温度漂移等因素的影响。

值得注意的是，在具体实施过程中还需注意以下几点：一是选择合适的探针材料，通常选用钨或钼材质以提高耐蚀性；二是定期清洁探针表面，避免因污染物积累导致测量误差增大；三是建立完善的校准流程，确保每次测量条件的一致性。这些细节对于保证测量精度至关重要。