TDLSHXH 006-2020 电子工业用气体 硫化氢

TDLSHXH 006-2020《电子工业用气体 硫化氢》标准解析

随着电子工业的快速发展，高纯度气体在半导体制造、平板显示等领域的重要性日益凸显。硫化氢作为一种重要的电子工业用气体，在气相外延、化学气相沉积等工艺中发挥着关键作用。本标准对硫化氢的质量要求和检测方法进行了详细规定。

首先，标准明确了硫化氢的技术指标。包括纯度≥99.999%，水分含量≤1ppm（v/v），氧气含量≤1ppb（v/v），颗粒尺寸≥0.5μm数量≤1个/100L等。这些指标确保了气体的高纯度和低杂质水平，满足先进制程的需求。

其次，标准详细规定了硫化氢的检测方法。纯度采用气相色谱法测定，水分使用电解法或露点法测量，氧气含量通过质谱法检测，颗粒则利用激光粒子计数器进行计数。每种检测方法都给出了具体的操作步骤和仪器要求，保证了测试结果的准确性和可重复性。

此外，标准还对硫化氢的包装、储存和运输提出了严格要求。气体应储存在专用钢瓶中，并保持直立固定，避免阳光直射和高温环境。运输过程中需采取防震措施，防止碰撞和倒置。

该标准的实施，不仅规范了电子工业用硫化氢产品的质量控制，也为相关企业的生产提供了技术指导。通过遵循这一标准，可以有效提高产品质量，保障电子工业的稳定发展。