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摘要:本文件规定了光电子级超纯氨的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于光电子行业中作为原料或工艺气体使用的超纯氨。
Title:7N Ultra-high Purity Ammonia for Optoelectronics
中国标准分类号:Y41
国际标准分类号:71.100.99
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拓展解读
光电子级超纯氨是一种在高端制造业中具有关键作用的特种气体,广泛应用于半导体、液晶显示、太阳能电池等领域。它对纯度和杂质控制有着极高的要求,是确保产品性能稳定性和可靠性的重要因素。
根据TZZB 1373-2019标准,光电子级超纯氨的质量指标包括但不限于以下几个方面:首先是纯度,要求达到或超过99.999%(即5N级别),这意味着每百万份气体中允许存在的杂质总量不得超过10ppm。其次是特定杂质含量的限制,如氧、氢、氮等常见杂质的浓度需严格控制在ppb甚至ppt水平。
此外,该标准还规定了包装容器的选择与处理方法,以防止运输过程中可能发生的污染。通常采用不锈钢瓶作为储存容器,并且在充装前需要进行严格的清洗和干燥处理,确保内部环境洁净无污染。
为了保证产品质量,在生产过程中需要采取多级净化措施,包括吸附法、冷凝法等多种技术手段来去除各种微量杂质。同时还需要建立完善的质量管理体系,从原材料采购到最终产品的出厂检验都必须严格执行相关规范。
总之,遵循TZZB 1373-2019标准生产的光电子级超纯氨能够满足现代高科技产业对于高品质原材料的需求,在促进我国电子信息产业发展方面发挥着不可替代的作用。