TCCGA 30003-2019 超纯三氟化氮

TCCGA 30003-2019《超纯三氟化氮》标准是针对电子工业中使用的高纯度三氟化氮气体制定的技术规范。该标准详细规定了超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容。

技术要求

1. 纯度：超纯三氟化氮的纯度应不低于99.999%（5N），其中主要杂质如水分、氧气、二氧化碳等含量需严格控制在ppb级别以下。

2. 物理性质：包括密度、沸点、熔点等，这些参数直接影响到气体的储存和使用安全性。

3. 包装材料：要求采用惰性材料制成的气瓶或容器，确保不会与三氟化氮发生化学反应。

4. 安全性能：必须符合相关国际和国家标准的安全要求，包括泄漏检测、耐压测试等。

试验方法

- 纯度测定：采用气相色谱法或其他经验证的方法进行精确测量。

- 杂质分析：通过质谱仪等高端仪器对可能存在的微量杂质进行全面分析。

- 物理特性测试：依据国家计量基准设备执行相应的物理量测量。

检验规则

产品出厂前需按照规定的抽样方案随机抽取样品，并按照标准中的各项指标逐一检验。只有当所有项目均达到或超过标准规定值时，才能判定为合格产品。

标志、包装、运输和贮存

- 标志：每个容器上都必须清晰地标明生产日期、批号、净重及注意事项等信息。

- 包装：采用专用的高压钢瓶或铝合金瓶，并且每只瓶子都要经过严格的清洗处理后方可投入使用。

- 运输：在装卸过程中要轻拿轻放，避免剧烈碰撞；运输途中还需采取防震措施。

- 贮存：应存放在阴凉通风处，远离火源和热源，同时保持良好的通风条件以防止积聚。

总之，《超纯三氟化氮》(TCCGA 30003-2019)标准不仅保障了产品质量，也为用户提供了可靠的安全保证，在推动我国半导体产业的发展方面发挥了重要作用。