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摘要:本文件规定了晶片精密研磨盘用修正轮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于晶片精密研磨盘用修正轮的生产与检验。
Title:Technical Requirements for Dressing Wheels Used in Precision Grinding Discs for Wafers
中国标准分类号:J75
国际标准分类号:25.100
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拓展解读
TWLJC 58-2019 标准主要规定了晶片精密研磨盘用修正轮的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容。该标准适用于以树脂结合剂或金属结合剂为主体,用于对晶片精密研磨盘进行修正的工具。
在技术要求方面,标准对修正轮的尺寸公差、形状公差、表面粗糙度等作出了明确规定。例如,对于尺寸公差,修正轮的外径、内径及厚度都有具体的允许偏差范围;形状公差则包括圆度、同轴度等指标。此外,表面粗糙度也是重要的考量因素之一,直接影响到研磨效果。
试验方法部分详细描述了如何检测上述各项技术参数。比如,使用高精度测量仪器来测定尺寸公差和形状公差;通过显微镜观察并评估表面粗糙度。同时,还涉及到了硬度测试、抗压强度测试等相关内容。
检验规则明确了产品出厂前需要进行哪些项目的检查以及抽样方案。一般情况下,每批产品都应按照规定的比例随机抽取样品进行全项目检验,只有当所有指标均符合标准要求时才能视为合格品。
关于标志、包装、运输和贮存,则强调了生产企业应当在外包装上清晰地标明产品名称、规格型号、生产日期等信息,并采取适当的防护措施避免在运输过程中受到损坏。另外,在储存期间也需要保持干燥通风的良好环境条件。
总之,《晶片精密研磨盘用修正轮》这一国家标准为企业提供了统一的产品质量评价依据,有助于提高行业整体水平,保障用户权益。