DB13T 5874-2023 电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法

摘要：本文件规定了电子工业用氟化氢中杂质的测定方法（色谱法）。本文件适用于电子工业用氟化氢中特定杂质的定量分析。
Title：Determination of Impurities in Hydrogen Fluoride for Electronic Industry by Chromatography
中国标准分类号：G12
国际标准分类号：71.040

DB13/T 5874-2023《电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法》是一项专门用于检测电子工业用氟化氢中杂质含量的标准。以下是对该标准中一些关键条款的深入解读。

### 范围

本标准规定了使用气相色谱法测定电子工业用氟化氢中杂质的方法，包括方法原理、试剂与材料、仪器设备、样品处理、分析步骤、结果计算以及精密度要求等内容。适用于电子工业用氟化氢中常见杂质如水分、二氧化碳、氧气等的定量分析。

### 方法原理

采用气相色谱技术，通过特定的色谱柱分离氟化氢及其可能存在的杂质组分，并利用检测器对各组分进行定性和定量分析。此方法能够有效区分和测量不同种类的杂质浓度。

### 样品准备

样品需经过适当的前处理以确保其适合于色谱分析。通常情况下，样品应保持在适当的温度下储存，并且在测试之前需要过滤去除任何悬浮颗粒物。

### 分析条件

标准中详细描述了色谱柱类型、载气选择（通常是高纯度氮气）、进样量、流速等参数设置。这些条件的选择直接影响到分离效果和检测准确性。

### 结果计算

根据色谱图上的峰面积或峰高来确定各杂质成分的含量。标准提供了具体的公式用于从实验数据计算出最终的结果值。

### 精密度

为了保证测量结果的一致性，标准还给出了重复性和再现性的限值。这意味着如果在同一实验室由同一个操作者多次重复实验时，所得结果之间的差异不应超过规定的范围；同样地，在不同实验室间也应满足一定的偏差限制。

### 注意事项

执行本标准时需要注意安全事项，比如操作人员应当穿戴适当的个人防护装备，避免直接接触有害物质。此外，在实际应用过程中还需考虑设备校准、维护保养等因素对测量精度的影响。

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