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摘要:本文件规定了TBEA 40004-2024(10-1~10-7)Pa真空计现场校准的方法、条件、设备要求及结果评定。本文件适用于在特定真空范围内使用的真空计的现场校准。
Title:On-site Calibration Specification for Vacuum Gauge (10-1~10-7) Pa
中国标准分类号:M43
国际标准分类号:17.200
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拓展解读
本文以TBEA 40004-2024与旧版标准对比为例,聚焦于“压力测量点选择”这一关键条文,探讨其在实际校准中的应用方法。
在TBEA 40004-2024中,压力测量点的选择从原来的固定五个点扩展为七个点,并对每个点的具体数值范围进行了明确规定。例如,在10^-1 Pa至10^-7 Pa范围内,新增了10^-5.5 Pa和10^-6.5 Pa两个测试点。这种调整旨在更全面地覆盖真空计的工作区间,提高校准精度。
在实际操作时,首先需确认待校准设备的工作压力区间,然后根据标准要求精确设置校准仪的压力输出。例如,当校准目标为一款适用于10^-2 Pa至10^-6 Pa范围的真空计时,应依次设置10^-2 Pa、10^-3 Pa、10^-4 Pa、10^-5 Pa、10^-5.5 Pa、10^-6 Pa和10^-6.5 Pa共七个测试点。每个压力点稳定后,记录真空计显示值并与标准仪器读数对比,计算误差。
特别需要注意的是,在切换压力点时应确保系统完全达到新的压力状态再进行数据采集,避免因压力波动导致的测量偏差。同时,对于不同类型的真空计(如电离规、热偶规等),可能需要采用不同的连接方式或预处理步骤,以保证校准结果的有效性。
通过这样的细致操作,可以有效提升真空计校准的准确性和可靠性,满足现代高精密设备对真空环境的严格要求。