DB11T 1764.8-2021 用水定额 第8部分：集成电路

《DB11/T 1764.8-2021 用水定额 第8部分：集成电路》是北京市地方标准，规定了集成电路企业不同生产规模下的取用水定额。以下为该标准的重要条文解读：

一、适用范围

本标准适用于北京市行政区域内设计生产能力5000片/月及以上集成电路企业的取用水管理。

二、术语和定义

1. 取水定额：指在特定的工艺技术和管理水平条件下，生产单位产品或完成单位工作量所允许的最大取水量。

2. 工艺用水：指直接参与生产工艺过程的水，包括清洗、冷却、反应等用途。

3. 循环冷却水：指用于设备或系统冷却后循环使用的水。

三、取水定额指标

1. 12英寸晶圆制造企业

- 新建及改扩建企业：≤12立方米/片

- 现有企业：≤15立方米/片

2. 8英寸晶圆制造企业

- 新建及改扩建企业：≤20立方米/片

- 现有企业：≤25立方米/片

3. 其他集成电路制造企业

- 新建及改扩建企业：≤30立方米/片

- 现有企业：≤35立方米/片

四、用水管理要求

1. 企业应建立完善的用水计量体系，确保各用水环节均有准确的计量装置。

2. 鼓励采用先进的节水技术与设备，提高水资源利用效率。

3. 定期开展水平衡测试，分析用水情况，查找节水潜力。

4. 制定并实施节水计划，定期评估节水效果。

五、监督与检查

1. 北京市水务管理部门负责对企业执行本标准情况进行监督检查。

2. 对于超定额用水的企业，将依据相关法律法规采取措施促使其整改。

六、附则

1. 本标准自发布之日起实施。

2. 各企业应根据自身实际情况，在符合本标准的基础上进一步细化内部用水管理制度。

以上内容是对《DB11/T 1764.8-2021 用水定额 第8部分：集成电路》中关键条款的深度解析，旨在帮助企业更好地理解和遵守相关规定，促进水资源的有效管理和合理使用。