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摘要:本文件规定了湿电子化学品再生光阻洗净液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以有机溶剂为基础的再生光阻洗净液,主要用于半导体、显示面板等行业的光刻工艺中去除光阻材料。
Title:Wet Electronic Chemicals - Regenerated Photoresist Stripper
中国标准分类号:G12
国际标准分类号:25.040.30
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拓展解读
本文以《TFJAS 002-2024湿电子化学品再生光阻洗净液》为例,聚焦于新旧版本标准中“回收率”指标的变化及其应用方法。
在旧版标准(假设为TFJAS 002-2019)中,“回收率”的定义较为笼统,仅要求达到一定数值但未具体说明检测方法与计算公式。而在新版标准中,“回收率”的定义被细化,明确规定回收率为原始溶液中有效成分经过处理后剩余量占初始总量的比例,并给出了具体的计算公式:回收率=(处理后有效成分含量/初始有效成分含量)×100%。同时,还增加了对检测环境、设备精度的要求以及取样频率的规定。
这一变化使得生产企业能够更准确地评估再生光阻洗净液的质量稳定性,从而优化生产工艺,提高产品性能。例如,在实际操作过程中,企业应严格按照新版标准的要求设置检测条件,如使用高精度天平称量样品重量,采用高效液相色谱仪分析有效成分浓度等。此外,还需定期记录不同批次产品的回收率数据,绘制趋势图以便及时发现异常情况并采取相应措施。通过遵循这些详细的指导原则,可以确保再生光阻洗净液始终符合行业最高标准,满足下游客户的严格需求。