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资源简介
摘要：本文件规定了集成电路晶圆厂用天车传送系统的术语和定义、系统组成、技术要求、测试方法、验收规则及标识、包装、运输和贮存。本文件适用于集成电路晶圆厂内用于物料自动传输的天车传送系统的设计、制造、安装、验收和使用。
Title：General Technical Requirements for Overhead Conveyor Systems in IC Wafer Fabrication Plants
中国标准分类号：L80
国际标准分类号：25.040.30 -
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拓展解读
TSICA 006-2024相较于旧版标准，在关键性能指标上进行了显著更新。其中，关于洁净度控制的部分变化尤为突出。新版标准中增加了对空气中微粒浓度的具体数值要求，并细化了检测方法。
以空气中微粒浓度为例，旧版仅笼统提出需要保持高洁净环境，而TSICA 006-2024则明确规定了不同粒径范围内的颗粒数量上限。例如，对于直径大于等于0.1微米的粒子，每立方米空气中的最大允许数量从原来的5000个降低到了3500个。
在实际应用中，要达到这一标准，首先需选用高效过滤器来净化进入系统的空气。其次，定期维护和更换滤芯是必不可少的步骤。此外，还应建立完善的监测机制，使用激光粒子计数器等专业设备实时监控空气质量。一旦发现超标情况，应立即排查原因并采取相应措施，如调整送风量、检查密封性等。通过这些具体的操作，可以确保天车传送系统始终处于符合TSICA 006-2024要求的工作状态之中。
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