DB31 792-2020 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

DB31/ 792—2020《硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额》是上海市地方标准，旨在规范硅单晶及其硅片生产过程中的能耗管理。以下对标准中的一些重要条文进行解读：

1. 适用范围：本标准适用于以多晶硅为原料通过直拉法或区熔法制取的硅单晶及由此加工的硅片单位产品的综合能耗限定值、准入值和先进值的计算与考核。

2. 术语和定义：

- 硅单晶：指由多晶硅原料通过直拉法（CZ）或区熔法（FZ）生长得到的具有单一晶体结构的硅棒。

- 硅片：指从硅单晶上切割下来的薄片，用于半导体器件制造。

- 单位产品综合能耗：指生产每公斤硅单晶或每平方米硅片所消耗的各种能源折算成标准煤后的总和。

3. 能耗限额指标：

- 综合能耗限定值：这是企业必须达到的基本要求，超过此限值将被视为不达标。

- 综合能耗准入值：新建或改扩建项目应满足的最低能效水平。

- 综合能耗先进值：代表行业内领先的能效水平，鼓励企业向此目标迈进。

4. 节能措施：

- 提高热场利用率，优化炉内温度分布，减少能量损失。

- 使用高效冷却系统，降低冷却水温升幅度，提高循环效率。

- 加强设备维护保养，确保运行状态良好，避免因故障导致额外能耗增加。

5. 统计与计算方法：

- 能源消耗量应包括电力、天然气等直接消耗以及间接消耗如蒸汽、热水等。

- 计算时需考虑实际产量，对于不合格品不应计入合格产品基数内。

6. 监督管理：

- 各级政府节能主管部门负责监督执行情况，并定期开展检查评估工作。

- 对于未能达到规定要求的企业，应限期整改直至符合标准为止。

通过严格执行该标准，可以有效促进相关行业节能减排，提升整体技术水平和发展质量。