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摘要:本文件规定了电子级氨水的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体、集成电路制造过程中使用的高纯度电子级氨水。
Title:Electronic Grade Ammonia Water
中国标准分类号:G12
国际标准分类号:71.100.99
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拓展解读
TCSTM 01148-2024《电子级氨水》标准中,有一项重要的更新是关于杂质控制的严格化。与旧版相比,新版标准对金属离子杂质的检测限值进行了调整,特别是对于铜(Cu)和铁(Fe)这两种常见金属杂质。
在实际应用中,如何正确执行这些新的限值要求显得尤为重要。例如,在生产过程中,为了确保产品符合标准要求,企业需要采用更加敏感和精确的分析技术来监测这些金属离子的含量。推荐使用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS),该方法能够提供高灵敏度和准确性,适合用于痕量元素的测定。
此外,在日常质量管理中,应建立完善的检测流程,定期校准仪器设备,并培训操作人员掌握正确的样品前处理技术和数据分析方法。通过这些措施,可以有效保证电子级氨水的质量稳定性,满足下游半导体制造等行业的需求。
总之,《电子级氨水》TCSTM 01148-2024标准中关于金属杂质限值的变化反映了行业对产品质量要求的提高。企业和实验室应当及时适应这些变化,采取相应的技术和管理手段以确保产品的合规性和可靠性。