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摘要:本文件规定了电子级异丙醇的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以工业异丙醇为原料,经精制提纯后制得的电子级异丙醇,主要用作电子产品制造过程中的清洗剂和其他相关用途。
Title:Technical Specification for Electronic Grade Isopropyl Alcohol
中国标准分类号:G12
国际标准分类号:71.080.01
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拓展解读
TCSTM 01041-2024《电子级异丙醇》标准在电子材料领域具有重要意义,其中关于金属离子含量控制的变化尤为值得关注。相较于旧版标准,新版对金属离子杂质的检测限值进行了更严格的调整,这对半导体制造工艺中使用的化学品质量提出了更高要求。
以金属钠离子为例,在TCSTM 01041-2024中,其最大允许浓度从原来的5ppb降低至3ppb。这一改变反映了现代微电子工业对于超纯化学品的严格需求,尤其是在先进制程节点下,即使是极低浓度的金属污染也可能导致器件性能下降甚至失效。
为了满足该标准的要求,生产厂商需要采用先进的分析技术来确保产品符合规定。例如,可以使用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)进行精确测定。具体操作时应注意样品前处理步骤,包括但不限于酸消解、过滤以及稀释过程中的无污染操作。此外,在整个检测流程中必须采取有效措施防止交叉污染,并定期校准仪器以保证数据准确性。
通过遵循这些详细的实施指南,相关企业能够更好地适应并遵守最新的行业规范,从而为客户提供高品质的产品和服务。同时这也促进了整个产业链向着更加绿色环保的方向发展。