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摘要:本文件规定了三氟化氮检测仪的术语和定义、分类与组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体工业及其他相关领域中使用的三氟化氮检测仪。
Title:General Technical Requirements for Nitrogen Trifluoride Detectors
中国标准分类号:J81
国际标准分类号:13.040.99
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拓展解读
DB13/T 2645-2018《三氟化氮检测仪通用技术要求》是河北省地方标准,该标准对三氟化氮检测仪的技术指标、性能要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面进行了规范。以下将选取部分关键条款进行详细解读。
技术要求
4.1 外观与结构
检测仪的外观应整洁美观,无明显划痕或损伤。外壳材料需具备良好的耐腐蚀性和机械强度。设备表面涂层应均匀,文字标识清晰可辨。这一条款确保了仪器在使用过程中的耐用性及操作的安全性。
4.2 功能要求
检测仪应具备自动校准、数据存储、报警设置等功能。其中,自动校准功能能够保证测量结果的准确性;数据存储功能便于后续数据分析;而报警设置则能够在浓度超过预设值时及时提醒用户采取措施。这些功能的设计旨在提升检测效率并保障人员安全。
4.3 测量范围与精度
根据实际应用场景的不同,检测仪的测量范围通常设定为0至100ppm或更高。其基本误差不应超过±5%FS(满量程),这对于保证检测结果的真实可靠性至关重要。此外,响应时间也是一项重要指标,一般要求小于30秒,以快速反映气体浓度变化情况。
性能要求
5.1 稳定性
在正常工作条件下,检测仪连续运行24小时后,其零点漂移和量程漂移均不得超过规定限值。这表明即使长时间处于恶劣环境中,仪器仍能保持较高的稳定性和精确度。
5.2 抗干扰能力
考虑到现场可能存在多种复杂因素的影响,如温度波动、湿度变化等,检测仪必须具有较强的抗干扰能力。具体表现为当外界条件发生变化时,仪器的测量误差仍然控制在合理范围内。
试验方法
为了验证上述各项技术要求是否得到满足,《DB13/T 2645-2018》还明确了相应的测试程序。例如,在进行稳定性试验时,需要将仪器置于特定环境条件下,并记录一段时间内的读数变化;而对于抗干扰能力的评估,则可以通过模拟实际工况来完成。
检验规则
出厂检验项目包括但不限于外观检查、功能测试以及基本误差测定等内容。只有当所有检验项目均合格后,产品才能被允许出厂销售。同时,型式检验则是在新产品投产前或者老产品转厂生产时进行全面考核的重要环节。
标志、包装、运输和贮存
最后,标准还对产品的标识信息作出了明确规定,比如型号规格、制造日期、执行标准号等都应当准确标注于产品上。另外,在包装过程中要特别注意防潮抗震处理,以防止运输途中受到损坏。对于长期存放而言,则建议选择通风干燥且远离热源的地方作为仓库位置。
综上所述,《DB13/T 2645-2018》从多个维度全面规范了三氟化氮检测仪的设计制造流程,为相关行业提供了科学合理的指导依据。