JCT2372-2016 集成电路用石英舟

《JCT2372-2016 集成电路用石英舟》是一项针对集成电路制造过程中关键部件——石英舟的行业标准。该标准由中国电子元件行业协会发布，旨在规范石英舟的设计、生产及使用，确保其在高温、高纯度环境下的性能稳定性，从而提高集成电路制造的质量和效率。

石英舟是集成电路制造中用于承载硅片进行热处理的重要工具，广泛应用于扩散、氧化、退火等工艺环节。由于其工作环境通常处于高温（可达1000℃以上）且需要保持极高的洁净度，因此对石英舟的材料纯度、结构设计以及表面质量提出了严格要求。JCT2372-2016标准对这些方面进行了详细规定。

该标准涵盖了石英舟的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志和储存等内容。其中，技术要求包括石英舟的尺寸公差、表面粗糙度、气泡缺陷、杂质含量等关键指标。试验方法则明确了如何通过物理、化学和光学手段检测石英舟的各项性能参数，以确保其符合标准要求。

此外，JCT2372-2016还对石英舟的生产过程提出了规范性要求，如原材料的选择、加工工艺的控制、成品的检测流程等，以保证产品的稳定性和一致性。同时，标准还强调了产品标识和包装的要求，以便于用户识别和管理。

作为一项重要的行业标准，《JCT2372-2016 集成电路用石英舟》不仅为石英舟的生产和应用提供了科学依据，也为提升我国集成电路制造水平和产品质量起到了积极作用。