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资源简介
《GBT 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》是中国国家标准，规定了使用椭圆偏振仪测定硅基材料表面二氧化硅薄膜厚度的原理、设备、测试步骤及数据处理方法。该标准适用于半导体制造和微电子领域中对二氧化硅薄膜厚度的精确测量，具有重要的技术指导意义。通过分析偏振光在薄膜表面的反射特性，可非破坏性地获得薄膜厚度信息，提高了测量的准确性与效率。
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