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资源简介
《GBT 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法》是中国国家标准，规定了利用扫描电子显微镜对微米级长度进行精确测量的方法。该标准适用于材料科学、精密制造等领域，为微小结构尺寸的检测提供了技术依据。通过扫描电镜成像，结合图像处理和标定技术，能够实现对样品表面微米级特征的准确测量。标准内容包括测量原理、仪器要求、操作步骤及数据处理方法，确保测量结果的准确性与可重复性。
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