资源简介
《GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范》是中华人民共和国国家标准,适用于微电子生产设备的安装、施工及验收。该规范对施工流程、技术要求、质量控制、安全措施等方面进行了详细规定,旨在保障微电子设备安装工程的质量和安全性。规范内容涵盖设备基础、电气系统、环境控制、管道安装等多个方面,为工程建设提供了统一的技术依据。该标准对于提升微电子制造行业的工程管理水平具有重要意义。
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