现行 JB/T 8945-2010
真空溅射镀膜设备 真空溅射镀膜设备 Vacuum sputtering coating plant
发布日期：2010-02-21
实施日期：2010-07-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-机械
CCS分类： J78机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备
ICS分类： 23.160流体系统和通用件 - 真空技术
研制信息

归口单位： 全国真空技术标准化技术委员会

起草单位： 广东中环真空设备有限公司、 成都南光机器有限公司

起草人： 蔡东锋、 张远青

标准简介

本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备

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最后更新时间 2025-09-01