归口单位: 全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位: 中国建筑材料检验认证中心、 中国建筑材料科学研究总院
起草人: 张浩运、 吴洁
本标准规定了QSG1、QSG2、QSG3三种透明石英玻璃坩埚的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透明石英玻璃坩埚
最后更新时间 2025-09-01