归口单位: 全国真空技术标准化技术委员会
起草单位: 北京北仪创新真空技术有限公司、 浙江真空设备集团有限公司
起草人: 杨静、 陈月增
本标准规定了真空泵、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号的编制方法。本标准适用于上述各种真空设备的型号编制
最后更新时间 2025-09-01