归口单位: 全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位: 中国建筑材料检验认证中心、 中国建筑玻璃与工业玻璃协会
起草人: 宋维宁、 吴洁
本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准
最后更新时间 2025-09-02