作废 SJ/T 11450-2013
单晶炉能源消耗规范 单晶炉能源消耗规范 Specification for energy consumption norm of silicon single crystal grower
发布日期:2013-10-17
实施日期:2013-12-01
分类信息
研制信息

归口单位: 中国电子技术标准化研究所

起草单位: 北京七星华创电子股份有限公司、 信息产业部节能监测中心

起草人: 张燕玲、 范宝山、 杨卫平、 谭三成、 吴志红、 蒋迫宝、 薛松、 严海若

标准简介

规定了单晶炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则

相似标准/计划/法规
单晶

最后更新时间 2025-09-02