现行 YS/T 937-2013
镍铂靶材 镍铂靶材 Nickel-platinum target
发布日期:2013-10-17
实施日期:2014-03-01
分类信息
研制信息

归口单位: 全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

起草单位: 有研亿金新材料股份有限公司、 北京有色金属研究总院

起草人: 朱晓光、 顾新福、 杨永刚、 向磊、 何金江、 郭力山、 吕保国、 姚力军、 王学泽、 李勇军、 尚再艳、 孙秀霖、 陈彩霞、 张丽、 李娜、 刘红宾、 夏乾坤、 蒋宇辉

标准简介

本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材

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最后更新时间 2025-09-02