作废 HG/T 4509-2013
工业高纯氢氟酸 工业高纯氢氟酸 High purity hydrofluoric acid for industrial use
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-化工
CCS分类： G11化工 - 无机化工原料 - 无机酸、碱
ICS分类： 71.060.30无机化学 - 酸
研制信息

归口单位： 全国化学标准化技术委员会无机化工分会

起草单位： 浙江凯恒电子材料有限公司、 福建省邵武市永飞化工有限公司、 鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、 浙江蓝苏氟化有限公司、 贵州省产品质量监督检验院、 巨化集团技术中心、 山东兴氟新材料有限公司、 上海哈勃化学技术有限公司、 多氟多化工股份有限公司、 中海油天津化工研究设计院、 国家元机盐产品质量监督检验中心

起草人： 田志扬、 赵晓亚、 杜宏军、 林益兴、 施卫寅、 钟宏波、 周晓红、 周鹏鹏、 孙宏华、 刘海霞、 郭凤鑫

标准简介

本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等

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最后更新时间 2025-09-02