归口单位: 全国真空技术标准化技术委员会
起草单位: 沈阳真空技术研究所、 安徽晥仪科技股份有限公司
起草人: 郑殿忠、 苏玉萍
本标准规定了冷阴极电离真空计的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等内容。本标准适用于测量压力大于1×10-7 Pa的潘宁型、磁控式和反磁控式冷阴极电离规管配套使用的冷阴极电离真空计
最后更新时间 2025-09-02