归口单位： 全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
起草单位： 有研亿金新材料股份有限公司
起草人： 董亭义、 何金江、 刘红宾、 张涛、 姚力军、 王学泽、 向磊、 徐学礼、 朱晓光、 丁照崇、 吕超、 雷继峰、 熊晓东、 张殿凯、 李娜
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材
最后更新时间 2025-09-02