被代替 YS/T 987-2014
氯硅烷中碳杂质的测定方法　甲基二氯氢硅的测定 氯硅烷中碳杂质的测定方法　甲基二氯氢硅的测定 Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane—Determination of methyldichlorosilane
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类： 77.040.30金属材料试验 - 金属材料化学分析
研制信息

归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位： 四川新光硅业科技有限责任公司

起草人： 敖细平、 王波、 黄代文、 梁洪、 刘畅、 姚淑、 荆凡、 杨艳芬、 银波、 黄彬

标准简介

本标准第1部分规定了三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定方法，适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定，检测范围为0.00001%～1.00%。本标准第2部分规定了四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定方法。本标准适用于四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定，检测范围为0.00001%～1.00%

相似标准/计划/法规
甲基杂质测定测定方法二氯氢硅

最后更新时间 2025-09-02