现行 YS/T 985-2014
硅抛光回收片 硅抛光回收片 Polished reclaimed silicon wafers
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H80冶金 - 半金属与半导体材料 - 半金属与半导体材料综合
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
研制信息

归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位： 浙江金瑞泓科技股份有限公司

起草人： 何良恩、 刘丹、 许峰、 张海英、 孙燕、 曹孜、 王飞尧、 楼春兰、 徐新华

标准简介

本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外，使用方需注意硅回收片的

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最后更新时间 2025-09-02