归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位： 四川新光硅业科技有限责任公司
起草人： 敖细平、 王波、 梁洪、 刘畅、 张华端、 古行乾、 王阿丽
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%～100%
最后更新时间 2025-09-02