归口单位： 全国工业电热设备标准化技术委员会
起草单位： 西安电炉研究所有限公司、 西安理工晶体科技有限公司、 陕西天宏硅材料有限责任公司、 国家质量监督检验中心、 中冶电炉工程技术中心、 陕西省电炉工程技术研究中心
起草人： 陈巨才、 朱琳、 薛涛、 袁芳兰、 黄奎刚、 宋安宁
本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备
最后更新时间 2025-09-02